Mašina za razrjeđivanje silicijum karbidnih pločica uglavnom se koristi za stanjivanje materijala podloge kao što su silicijumske pločice, galij arsenid, silicijum karbidna keramika, cirkonijum keramika, grafit, litijum tantalat i tako dalje.
Vertikalne mašine za mlevenje pločica visoke preciznosti mogu brusiti poluprovodničke materijale treće generacije kao što su SiC, GaN, GaAs, Si, ZnO. DL-GSD serija je samoproizvedena mašina za mlevenje u Kini, a njene performanse su dostigle svetski standard.